檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Lithography".ekeyword (精準) and year="98"
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本論文將利用全像術干涉微影技術、軟式微影技術以及微模轉印技術在雙通道高分子波導濾波器上製作非對稱布拉格耦合元件(asymmetric Bragg coupler based filters, ABC…
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本論文著重於全像光子晶體結構之分析、實現、光學特性與應用。在結構分析方面,使用全像術實現橢圓形光子晶體可以簡化製程步驟且相對於圓形光子晶體而言有著較寬的製程容忍度,進而提升製程良率並降低製作成本。此…